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三星和LG将采用ALD技术产柔性屏 利于使用寿命

时间:2016-09-27 来源:本站整理 我要评论
       据了解,如果采用ALD技术,就可以更好保护有机材料,减少氧、水的影响,从而提高柔性OLED面板的寿命和性能。腾讯数码讯(易静)三星显示器公司与LG Display准备在柔性OLED薄膜封装过程中采用ALD(原子层沉积)技术,两家公司已经与合作伙伴合作,在内部采购并验证ALD设备。
三星和LG将采用ALD技术产柔性屏 利于使用寿命

  据产业人士透露,三星显示器和LG Display正准备在柔性OLED生产流程中采用ALD技术。Jusung Engineering、WONIK IPS、AP System和TES拥有ALD技术和设备。LG Display已经完成对ALD的研究,准备将它用于柔性OLED生产;三星显示器也在加速部署ALD技术。

  两家公司完成了ALD技术的研发,它们正在考虑实际引入ALD的可能性,因为它们正在向柔性OLED生产设施投资。企业的研发已经完成,开始进入商用阶段。

  OLED是有机材料,它存在缺陷,比如,OLED对水和氧的防护比较弱。为了保护OLED,制造商会在OLED之上铺上许多层的薄膜,减少水和氧的侵蚀。具体铺多少层?不同的制造商有不同的标准,一般而言,制造企业会用一种名叫“Vitex”的方法在OLED之上铺盖有机薄膜和无机薄膜,交叠进行,各自3-5层。。

  在无机薄膜封装过程中,企业一般使用PECVD(等离子体增强化学汽相沉积)、溅射、ALD技术;如果是有机薄膜沉淀,使用的是Kateeva的喷墨打印技术。为了生成无机薄膜,三星和LG采用PECVD技术。

  为什么两家企业现在才考虑用ALD技术替代PECVD?因为寿命和性能对于柔性OLED来说越来越重要。另外,柔性OLED屏幕的生产力下降,需求增长也是一个问题。

  ALD技术是CVD(化学蒸汽沉积)技术的一种,它交替喷射原材料(包括ALD金属和反应气体)从而形成原子薄膜层。MLD技术(分子层沉积)可以形成有机材料分子层,两者结合就可以形成多层屏障,保护OLED,使之免受水和氧的侵蚀,即使在低温下也可以形成。

  在屏幕生产过程中引进ALD技术有一些优势,例如,它可以减少杂质,形成厚度相同的薄膜。ALD技术可以涂上高质量薄膜层,保护效果明显增强。如果无机薄膜的厚度不同(只有几纳米的差别),层层叠加,总薄膜厚度、渗水率就会受到影响。除此之外,与现有的CVD方法相比,ALD技术还可以采用各种不同的薄膜,这也是它的一个优势。

  半导体产业追求精细工艺,ALD成为它们追捧的对象。不过显示屏产业一直对ALD保持犹豫态度,因为它的成本比PECVD高,大面积使用也存在一定的问题,沉积速度不够快。最近一段时间问题已经部分解决,正因如此ALD才会真正投入使用。

  一名产业代表称:“虽然ALD和PECVD不可同日而语,但是ALD的沉积速度比PECVD慢了大约10倍。因为沉积速度慢,生产效率也很低,大面积应用有困难,这些都是主要的障碍,之所以真正引进ALD技术,主是是考虑到它可以形成更薄的高质量薄膜。”
       
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